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Implantationsdienstleistungen in 01328 Dresden

Freihändige Vergabe mit Teilnahmewettbewerb VOL/A (National)

Vergabe-ID: 753364

Auftraggeber
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Ausführungsfrist
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Angebotsfrist
09.05.2016 14:00 Uhr
Teilnahmeanträge nur in Papierform zulässig

Ausgeschriebene Leistung:

Implantation von Si-Wafern, Größe 4 Zoll, etwaige Dicke 525 µm, mit Phosphor oder Bor mit voraussichtlich folgenden Implantationsparametern: Phosphor mit Energien von 30-40 keV und Dosen von 1.3·1012 cm-2 und Bor mit Energien von 10-20 keV und Dosen von 1.4·1012 cm-2. Die Leistung soll 7 Implantationstermine umfassen. Pro Implantationstermin...
  1. Dresden Bautzner Landstraße 400
    01328 Dresden, Sachsen

Bekanntmachungs-ID: 746815

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Kennzeichen: 041120005 Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 21.04.2016 bis 09.05.2016

Ein Produkt der SDV Vergabe GmbH

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