Implantationsdienstleistungen in 01328 Dresden

Fristen siehe Bekanntmachung

Ausgeschriebene Leistung

Implantation von Si-Wafern, Größe 4 Zoll, etwaige Dicke 525 µm, mit Phosphor oder Bor mit voraussichtlich folgenden Implantationsparametern: Phosphor mit Energien von 30-40 keV und Dosen von 1.3·1012 cm-2 und Bor mit Energien von 10-20 keV und Dosen von 1.4·1012 cm-2. Die Leistung soll 7 Implantationstermine umfassen. Pro Implantationstermin...

Vergabeart

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Auftrag­geber

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Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

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Vergabe-ID (bei evergabe.de)

753364
Fristen siehe Bekanntmachung

Ausführungsort (1)

  • 01328 Dresden
    Bautzner Landstraße 400 , Sachsen

Zeitraum der Leistungserbringung

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Status meiner Bearbeitung

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Meine Notiz

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