Ausschreibung: Implantationsdienstleistungen in 01328 Dresden

Freihändige Vergabe mit Teilnahmewettbewerb VOL/A (National)

eVergabe.de-ID: 746815

Kennzeichen 041120005, Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 21.04.2016 bis 09.05.2016

Auftraggeber
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Ausführungsfrist
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Teilnahmefrist
Termin in Kalender eintragen 09.05.2016, 14:00 Uhr (Implantationsdienstleistungen)
Teilnahmeanträge nur in Papierform zulässig

Art und Umfang der Leistung

Implantation von Si-Wafern, Größe 4 Zoll, etwaige Dicke 525 µm, mit Phosphor oder Bor mit voraussichtlich folgenden Implantationsparametern: Phosphor mit Energien von 30-40 keV und Dosen von 1.3·1012 cm-2 und Bor mit Energien von 10-20 keV und Dosen von 1.4·1012 cm-2. Die Leistung soll 7 Implantationstermine umfassen. Pro Implantationstermin sol...

  1. Dresden Bautzner Landstraße 400
    01328 Dresden, Sachsen

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Kennzeichen: 041120005, Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 21.04.2016 bis 09.05.2016

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