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Ionenstrahlätzanlage in 01069 Dresden

EU-Auftragsbekanntmachung (EU-weit)

Vergabe-ID: 823501

Auftraggeber
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Ausführungsfrist
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Angebotsfrist
05.07.2016 13:00 Uhr

Ausgeschriebene Leistung:

chemisch unterstütze Ionenstrahlätzanlage: Das System soll geeignet sein für das Trockenätzen von Dünnschichten bestehend aus edlen Metallen, Piezomaterialien wie Lithiumniobat und Schichtsystemen. Die Schichtsysteme können unter anderem bestehen aus: (Metall/Metalloxid)n wobei "n" die Anzahl der Ebenen im Stapel ist, oder auch III-V-Halbleitern...
  1. Dresden
    01069 Dresden, Sachsen

Bekanntmachungs-ID: 815967

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Kennzeichen: 041440045 Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 23.05.2016 bis 05.07.2016

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