Ionenstrahlätzanlage in 01069 Dresden

Angebotsfrist: abgelaufen(05.07.2016 13:00 Uhr)

Ausgeschriebene Leistung

chemisch unterstütze Ionenstrahlätzanlage: Das System soll geeignet sein für das Trockenätzen von Dünnschichten bestehend aus edlen Metallen, Piezomaterialien wie Lithiumniobat und Schichtsystemen. Die Schichtsysteme können unter anderem bestehen aus: (Metall/Metalloxid)n wobei "n" die Anzahl der Ebenen im Stapel ist, oder auch III-V-Halbleitern...

Vergabeart

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Auftrag­geber

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Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

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Vergabe-ID (bei evergabe.de)

823501
Angebotsfrist: abgelaufen(05.07.2016 13:00 Uhr)

Ausführungsort (1)

  • 01069 Dresden

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