Ausschreibung: Plasmaquelle für PEALD-Prozesse in 01187 Dresden

Öffentliche Ausschreibung VOL/A (National)

eVergabe.de-ID: 356882

Kennzeichen 043290053, Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 24.11.2015 bis 17.12.2015

Auftraggeber
Bekanntmachung freischalten
Ausführungsfrist
Bekanntmachung freischalten
Angebotsfrist
Termin in Kalender eintragen 17.12.2015
Angebote nur in Papierform zulässig

Ausgeschriebene Leistung: Labortechnik

Im Rahmen eines Forschungsprojektes ist eine ALD-Anlage mit einer Plasmaquelle nachzurüsten. Plasmaquelle zur Nachrüstung an einer bestehenden ALD-Prozesskammer zur Erzeugung hochdichter Reaktivgasplasmen (H2, N2, O2, NH3) für die plasmagestützte Atomlagenabscheidung; technische Anforderungen Plasmaquelle: Prozessdruck: 20-200 Pa; Plasmadichte n...

  1. Dresden Nöthnitzer Straße 64
    01187 Dresden, Sachsen

Bekanntmachung freischalten

Kennzeichen: 043290053, Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 24.11.2015 bis 17.12.2015

Merken Drucken PDF Weiterleiten

Ihre Notiz zu dieser Ausschreibung

Ein Produkt der SDV Vergabe GmbH

nach oben