RE-Ätzsystem in 91052 Erlangen

Vergebener Auftrag - Fristen abgelaufen

Art des Auftrags: Lieferauftrag Bezeichnung der Auftrags: RE-Ätzsystem Kurze Beschreibung: Gerät mit automatischem Waferhandling zum Ätzen von Oxidmasken, Justiermarken und Gräben auf SiC-Scheiben. Durch ein elektrostatisches Klemmen der Scheiben auf dem Substratchuck sollen auch SiC-Wafer mit dicken Epitaxieschichten und starker Durchbiegung...

Vergabeart

Jetzt freischalten und Zugriff erhalten

Auftrag­geber

Jetzt freischalten und Zugriff erhalten

Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

Jetzt freischalten und Zugriff erhalten

Vergabe-ID (bei evergabe.de)

2022777
Vergebener Auftrag - Fristen abgelaufen

Ausführungsort (1)

  • 91052 Erlangen

Zeitraum der Leistungserbringung

Status meiner Bearbeitung

Jetzt freischalten und Zugriff erhalten

Meine Notiz

Jetzt freischalten und Zugriff erhalten

Jetzt freischalten und Zugriff erhalten auf:

  • Name des Auftraggebers
  • Zeitraum der Leistungserbringung
  • Vergabeunterlagen (ggf. Verlinkung)
  • Bekanntmachungstexte
  • Teilnahme am Verfahren (ggf. Verlinkung)
  • Persönliche Notizen und Bearbeitungsstatus