UV-Scanner LIT6 in 15236 Frankfurt (Oder)

Fristen siehe Bekanntmachung

Ausgeschriebene Leistung

1. Der DUV-Scanner (KrF @ 248,4nm) sollte Offline und auch Inline mit einem Wafertrack zusammenarbeiten können und für 200mm (8?) Si-Wafer konfiguriert sein. Das Belichtungsgerät / der DUV-Scanner sollte sehr gute Mix/Match Resultate zu einem i-Line Belichtungsgerät NIKON SF150 & DUV-Scanner Belichtungsgerät NIKON S207D hinsichtlich Linse und...

Vergabeart

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Auftrag­geber

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Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

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Vergabe-ID (bei evergabe.de)

903897
Fristen siehe Bekanntmachung

Ausführungsort (1)

  • 15236 Frankfurt (Oder)
    Im Technologiepark 25 , Brandenburg

Zeitraum der Leistungserbringung

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Status meiner Bearbeitung

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Meine Notiz

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