Ausschreibung: UV-Scanner LIT6 in 15236 Frankfurt (Oder)

EU-Auftragsbekanntmachung (EU-Weit)

eVergabe.de-ID: 895374

Kennzeichen 062000054, Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 18.07.2016 bis 15.08.2016

Auftraggeber
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Ausführungsfrist
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Teilnahmefrist
Termin in Kalender eintragen 15.08.2016

Art und Umfang der Leistung

1. Der DUV-Scanner (KrF @ 248,4nm) sollte Offline und auch Inline mit einem Wafertrack zusammenarbeiten können und für 200mm (8?) Si-Wafer konfiguriert sein. Das Belichtungsgerät / der DUV-Scanner sollte sehr gute Mix/Match Resultate zu einem i-Line Belichtungsgerät NIKON SF150 & DUV-Scanner Belichtungsgerät NIKON S207D hinsichtlich Linse und O...

  1. Frankfurt (Oder) Im Technologiepark 25
    15236 Frankfurt (Oder), Brandenburg

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Kennzeichen: 062000054, Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 18.07.2016 bis 15.08.2016

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