Wafertrack TRK6 in 15236 Frankfurt (Oder)

Fristen siehe Bekanntmachung

Ausgeschriebene Leistung

1. Leistungsumfang / Leistungsbeschreibung DUV(KrF) Wafertrack für F&E Aufgaben zur Realisierung des Projektes Nanostrukturierung. Der Wafertrack soll Inline oder auch Offline mit 200 mm Wafern und einem DUV-Scanner (KrF) Belichtungsgerät zusammenarbeiten können. Die Konfiguration muss 2 Coaterunits und 2 Developerunits enthalten. Der...

Vergabeart

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Auftrag­geber

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Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

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Vergabe-ID (bei evergabe.de)

903863
Fristen siehe Bekanntmachung

Ausführungsort (1)

  • 15236 Frankfurt (Oder)
    Im Technologiepark 25 , Brandenburg

Zeitraum der Leistungserbringung

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Status meiner Bearbeitung

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Meine Notiz

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