VRTP-Kammern

Nationale Ausschreibung
VgV
Offenes Verfahren
NLB2025_07
VRTP-Kammern
VRTP-Kammern
Lieferauftrag
Nein


Metadaten
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Zeitzone für Datums- und Zeitangaben: Europe/Berlin

Organisationen
Organisationen, die in der Bekanntmachung genannt werden
Referenz-ID Organisation: ORG-0001
Kategorie: Käufer
Organisation
Offizielle Bezeichnung: NaMLab gGmbH
Rechtliche Identifikationsnummer des Unternehmens
Identifikationsnummer: HRB 24890
Internet-Adresse: https://www.namlab.com
Anschrift
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64 a
Ort: Dresden
Postleitzahl: 01187
NUTS-3-Code: DED21 - Dresden, Kreisfreie Stadt
Land: Deutschland
Kontaktstelle
Kontaktstelle: Einkauf
E-Mail: einkauf@namlab.com
Telefon: +49 21249900
Informationen, die sich ausschließlich auf den Auftraggeber beziehen
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt: Nein
Zentrale Beschaffungsstelle, die für andere Beschaffer bestimmte Lieferungen und/oder Dienstleistungen erwirbt: Nein
Referenz-ID Organisation: ORG-0002
Kategorie: andere
Organisation
Offizielle Bezeichnung: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Rechtliche Identifikationsnummer des Unternehmens
Identifikationsnummer: keine Angabe
Internet-Adresse: https://www.lds.sachsen.de
Anschrift
Postanschrift: Braustraße 2
Ort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
NUTS-3-Code: DED51 - Leipzig, Kreisfreie Stadt
Land: Deutschland
Kontaktstelle
Kontaktstelle: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen
E-Mail: wiltrud.kadenbach@lds.sachsen.de
Telefon: +493419771040

Vertragspartei und Dienstleister
Auftraggeber
Auftraggeber
Referenz-ID Organisation: ORG-0001
Art des öffentlichen Auftraggebers: Zuwendungsempfänger, soweit nichts anderes zutrifft
Haupttätigkeiten des öffentlichen Auftraggebers: Wirtschaftliche Angelegenheiten
Beschafferprofil - URL: https://www.evergabe.de

Verfahren
Zweck
Rechtsgrundlage
Rechtsgrundlage des Verfahrens: Richtlinie 2014/24/EU
Andere Rechtsgrundlage mit Kennung
Rechtsgrundlage des Verfahrens (ELI – CELEX): VgV
Rechtsgrundlage des Verfahrens (Beschreibung): Verordnung über die Vergabe öffentlicher Aufträge
Beschreibung
Interne Kennung: NLB2025_07
Titel: VRTP-Kammern
Beschreibung: VRTP-Kammern
Art des Auftrags: Lieferungen
Umfang der Auftragsvergabe
Währung: EUR - Euro
Währung: EUR - Euro
Haupteinstufung
Klassifizierungstyp: Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge
Hauptklassifizierungscode: 31712100 - Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Erfüllungsort
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a
Ort: Dresden
Postleitzahl: 01187
NUTS-3-Code: DED21 - Dresden, Kreisfreie Stadt
Land: Deutschland
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Quelle von Ausschlussgründen
Grundlage für den Ausschluss: Bekanntmachung
Ausschlussgründe
Ausschlussgründe: Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung
Beschreibung: Ausgefüllte und unterschriebene Eigenerklärung zum Unternehmen, Abfrage Wettbewerbsregister
Grenzübergreifende Rechtsvorschriften
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift: CrossBorderLaw
Beschreibung: EU Richtlinien
Einzelheiten zum Verfahrenstyp
Verfahrensart
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Beschleunigtes Verfahren
Beschleunigtes Verfahren: nein
Zusätzliche Informationen
-:

Los
Los
Interne Referenz-ID Los: LOT-0001
Vergabeverfahren
Beschreibung des Loses
Interne Kennung: LOT-0001
Titel: Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuum-Prozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben
Beschreibung: Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder als zwei Einzelanlagen mit jeweils einer Kammer angeboten werden, die die sehr steilen Aufheiz- und Abkühlrampen ausführen können. Die Maschinen werden für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und die Prozessierung von mikro-/nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt. Sie müssen mit CMOS-Standards kompatibel sein. Eine Kammer soll Wafer mit einem Durchmesser bis 200 mm prozessieren können. Die zweite Kammer soll Wafer und Proben bis zu einer Größe von mindestens 150 mm prozessieren können. Die Prozessierung muss so erfolgen können, dass die beiden Kammern unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen. Die Anlage(n) soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an diesen Reinraum insbe¬sondere die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.
Art des Auftrags: Lieferungen
Umfang der Auftragsvergabe
Menge: 2
Einheit: Stück
Diese Auftragsvergabe ist besonders auch geeignet für kleinste, kleine und mittlere Unternehmen (KMU): Ja
Besonders geeignet für: Besonders auch geeignet für sonstige KMU.
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 480.000,00
Währung: EUR - Euro
Einstufung des Haupterzeugnisses eines Loses
Klassifizierungstyp: Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge
Hauptklassifizierungscode: 31712100 - Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Art der Auftragsvergabe
Strategische Auftragsvergabe
Art der strategischen Beschaffung: Keine strategische Beschaffung
Umweltauswirkungen der Beschaffung
Details zu den Kriterien für grüne Beschaffung
Soziales Ziel der Beschaffung
Innovativer Erwerb
Begründung für das Fehlen von Zugänglichkeitskriterien
Barrierefreiheit: Kriterien für die Zugänglichkeit für Menschen mit Behinderungen wurden nicht berücksichtigt, da die Beschaffung nicht für die Nutzung durch natürliche Personen vorgesehen ist
Erfüllungsort
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a
Ort: Dresden
Postleitzahl: 01187
NUTS-3-Code: DED21 - Dresden, Kreisfreie Stadt
Land: Deutschland
Geschätzte Laufzeit
Auswahl der Art der Laufzeit: Laufzeit angeben
Laufzeit: 7
Einheit: MONTH - Monat
Verlängerungen und Optionen
-:
Bedingungen der Auktion
Es wird eine elektronische Auktion durchgeführt: Nein
Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: Nein
Verwendung von EU-Mitteln
Die Auftragsvergabe wird zumindest teilweise aus Mitteln der Europäischen Union finanziert: Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
EU-Fonds
Auftragsvergabeverfahren
Rahmenvereinbarung
Rahmenvereinbarung geschlossen: Keine Rahmenvereinbarung
Dynamisches Beschaffungssystem
Angaben zum dynamischen Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
Informationen über die Rahmenvereinbarung
Währung: EUR - Euro
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Quelle von Eignungskriterien
Quelle der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Eignungskriterien
Eignungskriterien: Eintragung in das Handelsregister
Beschreibung: Handelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden.
Eignungskriterien: Finanzkennzahlen
Beschreibung: Eigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Eignungskriterien: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung: Eigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur Ausstattung
Eignungskriterien: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Beschreibung: Eigenerklärung muss unterschrieben werden.
Vorgehen zur Teilnehmerauswahl
-:
Zuschlagskriterien
-:
Zuschlag auf das Erstangebot
-:
Weitere Bedingungen zur Qualifizierung
Nachforderung von Unterlagen: Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Zusätzliche Informationen: Details zu den Spezifikationen, Informationen zum Unternehmen
Vorbehaltene Auftragsvergabe
Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Nebenangebote
Nebenangebote: Nicht zulässig
Regelmäßig wiederkehrende Leistungen
Auftrag über regelmäßig wiederkehrende Leistungen: Nein
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Anforderungen für die Ausführung des Auftrags
Reservierte Vertragsdurchführung
Die Auftragsausführung ist bestimmten Auftragnehmern vorbehalten: Nein
Leistungsbedingungen
-:
eRechnung
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Anforderungen an das eingesetzte Personal
-:
Sicherheitsüberprüfung
-:
Informationen zur Richtlinie über saubere Fahrzeuge
Die Auftragsvergabe fällt in den Anwendungsbereich der Richtlinie 2009/33/EG des Europäischen Parlaments und des Rates (Richtlinie zur Förderung sauberer Fahrzeuge — CVD)): nein
Beschreibung der NGM
-:
Informationen über die Anwendbarkeit von FSR
-:
Informationen über die Anwendbarkeit von EED
-:
eKatalog
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
eSignatur
-:
Verfahren nach der Vergabe
Aufträge werden elektronisch erteilt: Ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: Ja
Bestimmungen zur Finanzierung
Wesentliche Finanzierungs- und Zahlungsbedingungen.: Zahlungsplan: bei Auftragsvergabe 40 %, bei Lieferung 40 %, bei Abnahme 20 %.Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.
Informationen zur Einreichung
Fristen
Frist für den Eingang der Angebote: Dienstag, 12.08.2025 13:00 Uhr (MESZ)
Bindefrist
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 39
Einheit: DAY - Tag
Sprache für die Angebotsabgabe
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Öffnung der Angebote
Datum des Eröffnungstermins: Mittwoch, 13.08.2025 09:00 Uhr (MESZ)
Angaben zu Sicherheitsleistungen
Sicherheitsleistung erforderlich: ja
Beschreibung der Sicherheitsleistung: Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.
Einreichungsmethode
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.evergabe.de/unterlagen/0197c68c-45dc-45b4-995b-d3cd238e4bdf/zustellweg-auswaehlen
Informationen zu den Auftragsunterlagen
Beschaffungsdokumente in offiziellen Sprachen
Beschaffungsdokumente in offizieller Sprache
Verbindliche Sprachfassung der Vergabeunterlagen: Deutsch
Beschaffungsdokumente in inoffiziellen Sprachen
Beschaffungsdokumente in inoffizieller Sprache
Zugang zu bestimmten Auftragsunterlagen ist beschränkt: Zugang zu bestimmten Auftragsunterlagen ist beschränkt
Begründung für die Beschränkung des Zugangs zu bestimmten Auftragsunterlagen: Schutz besonders sensibler Informationen
Informationen über zugangsbeschränkte Dokumente einsehbar unter: https://www.evergabe.de/unterlagen/0197c68c-45dc-45b4-995b-d3cd238e4bdf/zustellweg-auswaehlen
Referenz-ID für die Angaben zu den Beschaffungsunterlagen in diesem Los: n/a
Ad-hoc-Kommunikationskanal
-:
Organisation, die zusätzliche Informationen bereitstellt
Referenz-ID zur Organisation, die zusätzliche Informationen bereitstellt: ORG-0001
Organisation, die Unterlagen bereitstellt
Referenz-ID zur Organisation, die die Angebotsunterlagen bereitstellt: ORG-0001
Überprüfung
Fristen für Nachprüfungsverfahren
-:
Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Referenz-ID der Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren: ORG-0002
Organisation, die Nachprüfungsinformationen bereitstellt
Referenz-ID der Organisation, die Überprüfungsinformationen bereitstellt: ORG-0002