Plasma Ashing System

25Tage

Angebotsfrist11.07.2025 12:00 Uhr

Ausgeschriebene Leistung

The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control...

Vergabeart

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Auftrag­geber

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Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

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Vergabe-ID (bei evergabe.de)

3195736
25Tage

Angebotsfrist11.07.2025 12:00 Uhr

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Ausführungsort (1)

  • 85748 Garching bei München
    Walther-Meissner-Str. 8, Bayern

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