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Plasmaanlagen in 01187 Dresden

Offenes Verfahren nach VgV (EU-weit)

Vergabe-ID: 2257806

Auftraggeber
Ausführungsfrist
Angebotsfrist
19.06.2020 14:00 Uhr

Ausgeschriebene Leistung:

Bezeichnung des Auftrags:
Plasmaanlagen

Kurze Beschreibung:
1 Analge für reaktives Ionenätzen (ICP RIE Anlage) 1 Anlage für tiefes Ionenätzen (DRIE Anlage) 1 Anlage zur plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD Anlage) einschließlich Lieferung, Installation, Einweisung

  1. Dresden Nöthnitzer Straße 64
    01187 Dresden, Sachsen

Bekanntmachungs-ID: 2705665

Veröffentlichung der Bekanntmachung auf eVergabe.de vom 21.05.2020 bis 19.06.2020

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