Single Wafer ALD for TiN (IPMS-MRS05.1) - PR896468-2480-P

28Tage

Teilnahmefrist12.06.2025 10:00 Uhr

Single Wafer ALD for TiN (IPMS-MRS05.1) Single Wafer ALD for TiN (IPMS-MRS05.1) 1 Stück Single Wafer ALD for TiN; Es wird eine Einzelwafer-Atomschichtabscheidungsanlage für TiN sowie für Al2O3 und SiO2 adressiert. Das System muss mit einer ferngesteuerten Plasmaquelle entweder für den TiN-Prozess oder für die Vorbehandlung der Oberfläche direkt...

Vergabeart

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Auftrag­geber

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Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

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Vergabe-ID (bei evergabe.de)

3180711
28Tage

Teilnahmefrist12.06.2025 10:00 Uhr

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Ausführungsort (1)

  • 01109 Dresden

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