Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten

9Tage

Teilnahmefrist24.06.2025 09:30 Uhr

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten...

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Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

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Vergabe-ID (bei evergabe.de)

3179555
9Tage

Teilnahmefrist24.06.2025 09:30 Uhr

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Ausführungsort (1)

  • 99310 Arnstadt

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