Ausschreibung: Vergebener Auftrag: HF-Elektrodensystem und Leistungszuführung in 01069 Dresden

Vergebener Auftrag nach freihändiger Vergabe VOL/A (National)

eVergabe.de-ID: 49

Kennzeichen 0640005, Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 05.03.2015 bis 05.06.2015

Ausgeschriebene Leistung: Labortechnik

HF-Elektrodensystem, Einbausystem für die ALD-Anlage BENEQ TFS 500, bestehend aus: - HF-Elektrode 180 mm Durchmesser, integriert in Zwischenrezipientendeckel mit isolierter, mit Inertgas spülbaren HF-Einkopplung zur Gewährleistung der HF-Isolation bei der Deposition metallischer Schichten für Substrattemperaturen bis 450°C - Zwischengitterbaugru...

  1. Dresden
    01069 Dresden, Sachsen

Bekanntmachung freischalten

Kennzeichen: 0640005, Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 05.03.2015 bis 05.06.2015

Merken Drucken PDF Weiterleiten

Ihre Notiz zu dieser Ausschreibung

Ein Produkt der SDV Vergabe GmbH

nach oben