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Vergebener Auftrag: HF-Elektrodensystem und Leistungszuführung in 01069 Dresden

Vergebener Auftrag nach freihändiger Vergabe VOL/A (National)

Vergabe-ID: 49

Auftraggeber
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Frist
ohne Frist

Ausgeschriebene Leistung:

HF-Elektrodensystem, Einbausystem für die ALD-Anlage BENEQ TFS 500, bestehend aus: - HF-Elektrode 180 mm Durchmesser, integriert in Zwischenrezipientendeckel mit isolierter, mit Inertgas spülbaren HF-Einkopplung zur Gewährleistung der HF-Isolation bei der Deposition metallischer Schichten für Substrattemperaturen bis 450°C -...
  1. Dresden
    01069 Dresden, Sachsen

Bekanntmachungs-ID: 49

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Kennzeichen: 0640005 Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 05.03.2015 bis 05.06.2015

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