Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer CNC-gesteuerten Prozessplattform für die slurry-basierte Rückseitenbearbeitung funktionaler Halbleiterbauelemente. Der Leistungsumfang umfasst die Anlagenkonfiguration, Demonstration und Verifizierung, Schulung, technische Abnahme, Dokumentation sowie Anwendungsunterstützung für den...