Gerätecluster zur Charakterisierung von siliziumbasierten Micro- und Nanotechnologien auf 200 mm Wafern in 15236 Frankfurt (Oder)

Angebotsfrist: abgelaufen(19.10.2016 00:00 Uhr)

Ausgeschriebene Leistung

Das Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik benötigt für die weiteren Entwicklungen neuer Technologien Charakterisierungstools für 8? Silizium-Wafer. Die Geräte sind von OEMs (Original-Equipment-Manufacture) zu beziehen und werden in 3 Teillosen bestehend aus: Los 1: Defektinspektionsgerät; Los 2: Messsystem für Schichtdicken und...

Vergabeart

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Auftrag­geber

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Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

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Vergabe-ID (bei evergabe.de)

971235
Angebotsfrist: abgelaufen(19.10.2016 00:00 Uhr)

Ausführungsort (1)

  • 15236 Frankfurt (Oder)
    Im Technologiepark 25 , Brandenburg

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