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Gerätecluster zur Charakterisierung von siliziumbasierten Micro- und Nanotechnologien auf 200 mm Wafern in 15236 Frankfurt (Oder)

EU-Auftragsbekanntmachung (EU-weit)

Vergabe-ID: 971235

Auftraggeber
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Ausführungsfrist
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Angebotsfrist
19.10.2016
Angebote nur in Papierform zulässig

Ausgeschriebene Leistung:

Das Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik benötigt für die weiteren Entwicklungen neuer Technologien Charakterisierungstools für 8? Silizium-Wafer. Die Geräte sind von OEMs (Original-Equipment-Manufacture) zu beziehen und werden in 3 Teillosen bestehend aus: Los 1: Defektinspektionsgerät; Los 2: Messsystem für Schichtdicken und...
  1. Frankfurt (Oder) Im Technologiepark 25
    15236 Frankfurt (Oder), Brandenburg

Bekanntmachungs-ID: 962265

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Kennzeichen: 062630036 Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 19.09.2016 bis 19.10.2016

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Vergabeunterlagen

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