Maskless Aligner

Angebotsfrist: abgelaufen(16.04.2024 13:00 Uhr)

Ausgeschriebene Leistung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600...

Vergabeart

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Auftrag­geber

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Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

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Vergabe-ID (bei evergabe.de)

2919511
Angebotsfrist: abgelaufen(16.04.2024 13:00 Uhr)

Ausführungsort (1)

  • 07745 Jena

Zeitraum der Leistungserbringung

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