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Reaktiver Ionenstrahl-Ätzer in 13355 Berlin

EU-Auftragsbekanntmachung (EU-weit)

Vergabe-ID: 1915344

Auftraggeber
Ausführungsfrist
Angebotsfrist
09.11.2017

Ausgeschriebene Leistung:

Das Gerät soll im Rahmen der am IZM Berlin bestehenden Dünnfilmtechnologie zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf Halbleitersubstraten eingesetzt werden. Im speziellen Fall dient das Gerät zum Ätzen von dünnen Metallschichten und Schichtsystemen auf Wafern mit einem Durchmesser von 100 mm, 150 mm, 200 mm und 300 mm nach...
  1. Berlin
    13355 Berlin, Berlin

Bekanntmachungs-ID: 1900410

Kennzeichen: 063050015 Veröffentlichung der Ausschreibung auf eVergabe.de vom 01.11.2017 bis 09.11.2017

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