Reaktiver Ionenstrahl-Ätzer in 13355 Berlin

Fristen siehe Bekanntmachung

Ausgeschriebene Leistung

Das Gerät soll im Rahmen der am IZM Berlin bestehenden Dünnfilmtechnologie zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf Halbleitersubstraten eingesetzt werden. Im speziellen Fall dient das Gerät zum Ätzen von dünnen Metallschichten und Schichtsystemen auf Wafern mit einem Durchmesser von 100 mm, 150 mm, 200 mm und 300 mm nach...

Vergabeart

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Auftrag­geber

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Vergabe­nummer (des Auftraggebers)

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Vergabe-ID (bei evergabe.de)

1915344
Fristen siehe Bekanntmachung

Ausführungsort (1)

  • 13355 Berlin

Zeitraum der Leistungserbringung

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